Excimer Laser Technology / (Registro nro. 293461)
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000 -CABECERA | |
---|---|
campo de control de longitud fija | 03226nam a22003615i 4500 |
001 - NÚMERO DE CONTROL | |
campo de control | 293461 |
003 - IDENTIFICADOR DEL NÚMERO DE CONTROL | |
campo de control | MX-SnUAN |
005 - FECHA Y HORA DE LA ÚLTIMA TRANSACCIÓN | |
campo de control | 20160429155107.0 |
007 - CAMPO FIJO DE DESCRIPCIÓN FÍSICA--INFORMACIÓN GENERAL | |
campo de control de longitud fija | cr nn 008mamaa |
008 - DATOS DE LONGITUD FIJA--INFORMACIÓN GENERAL | |
campo de control de longitud fija | 150903s2005 gw | o |||| 0|eng d |
020 ## - NÚMERO INTERNACIONAL ESTÁNDAR DEL LIBRO | |
Número Internacional Estándar del Libro | 9783540266679 |
-- | 9783540266679 |
024 7# - IDENTIFICADOR DE OTROS ESTÁNDARES | |
Número estándar o código | 10.1007/b137894 |
Fuente del número o código | doi |
035 ## - NÚMERO DE CONTROL DEL SISTEMA | |
Número de control de sistema | vtls000346681 |
039 #9 - NIVEL DE CONTROL BIBLIOGRÁFICO Y DETALLES DE CODIFICACIÓN [OBSOLETO] | |
Nivel de reglas en descripción bibliográfica | 201509031116 |
Nivel de esfuerzo utilizado para asignar no-encabezamientos de materia en puntos de acceso | VLOAD |
Nivel de esfuerzo utilizado en la asignación de encabezamientos de materia | 201405070509 |
Nivel de esfuerzo utilizado para asignar clasificación | VLOAD |
-- | 201402070903 |
-- | staff |
040 ## - FUENTE DE LA CATALOGACIÓN | |
Centro catalogador/agencia de origen | MX-SnUAN |
Lengua de catalogación | spa |
Centro/agencia transcriptor | MX-SnUAN |
Normas de descripción | rda |
100 1# - ENTRADA PRINCIPAL--NOMBRE DE PERSONA | |
Nombre de persona | Basting, Dirk. |
Término indicativo de función/relación | editor. |
9 (RLIN) | 326063 |
245 10 - MENCIÓN DE TÍTULO | |
Título | Excimer Laser Technology / |
Mención de responsabilidad, etc. | edited by Dirk Basting, Gerd Marowsky. |
264 #1 - PRODUCCIÓN, PUBLICACIÓN, DISTRIBUCIÓN, FABRICACIÓN Y COPYRIGHT | |
Producción, publicación, distribución, fabricación y copyright | Berlin, Heidelberg : |
Nombre del de productor, editor, distribuidor, fabricante | Springer Berlin Heidelberg, |
Fecha de producción, publicación, distribución, fabricación o copyright | 2005. |
300 ## - DESCRIPCIÓN FÍSICA | |
Extensión | xIx, 433 páginas 257 ilustraciones |
Otras características físicas | recurso en línea. |
336 ## - TIPO DE CONTENIDO | |
Término de tipo de contenido | texto |
Código de tipo de contenido | txt |
Fuente | rdacontent |
337 ## - TIPO DE MEDIO | |
Nombre/término del tipo de medio | computadora |
Código del tipo de medio | c |
Fuente | rdamedia |
338 ## - TIPO DE SOPORTE | |
Nombre/término del tipo de soporte | recurso en línea |
Código del tipo de soporte | cr |
Fuente | rdacarrier |
347 ## - CARACTERÍSTICAS DEL ARCHIVO DIGITAL | |
Tipo de archivo | archivo de texto |
Formato de codificación | |
Fuente | rda |
500 ## - NOTA GENERAL | |
Nota general | Springer eBooks |
505 0# - NOTA DE CONTENIDO CON FORMATO | |
Nota de contenido con formato | Introductory Remarks -- Fundamentals -- Some Fundamentals of Laser Physics -- Principles of Excimer Lasers -- Design and Technology of Excimer Lasers -- High-Repetition-Rate and High-Power Lasers -- High-Energy Lasers -- Excimer Lasers for Microlithography -- Laser Beam Characterization -- Optical Coatings for Excimer Laser Applications -- Small Structures with Large Excimer Lasers -- Historical Review of Excimer Laser Development -- Applications -- Overview -- Ablation -- Micro-Machining -- Via Drilling -- Micro-Processing of Borosilicate Glass and Polymers -- F2-Laser Microfabrication for Photonics and Biophotonics -- Nano-Structuring with Femtosecond Excimer Laser Pulses -- Physical Aspects of Ultra-Fast UV Laser Transfer -- Microlithography -- TFT Annealing -- Fiber Bragg Gratings -- Marking -- Activation and Metallization of Dielectrics -- Excimer-Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride-Based High-Temperature Superconducting Films -- Combustion Analysis -- Medical Applications of Excimer Lasers -- High-Intensity Applications of Excimer Lasers -- High-Repetition-Rate Applications of Excimer Lasers -- New Frontiers: Extreme-Ultraviolet (EUV) Technology at 13.5 nm -- Trends in Worldwide Excimer Laser Sales. |
520 ## - SUMARIO, ETC. | |
Sumario, etc. | This comprehensive survey on Excimer Lasers investigates the current range of the technology, applications and devices of this commonly used laser source, as well as the future of new technologies, such as F2 laser technology. Additional chapters on optics, devices and laser systems complete this compact handbook. A must read for laser technology students, process application researchers, engineers or anyone interested in excimer laser technology. An effective and understandable introduction to the current and future status of excimer laser technology. |
590 ## - NOTA LOCAL (RLIN) | |
Nota local | Para consulta fuera de la UANL se requiere clave de acceso remoto. |
700 1# - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL--NOMBRE DE PERSONA | |
Nombre de persona | Marowsky, Gerd. |
Término indicativo de función/relación | editor. |
9 (RLIN) | 326064 |
710 2# - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL--NOMBRE DE ENTIDAD CORPORATIVA | |
Nombre de entidad corporativa o nombre de jurisdicción como elemento de entrada | SpringerLink (Servicio en línea) |
9 (RLIN) | 299170 |
776 08 - ENTRADA/ENLACE A UN FORMATO FÍSICO ADICIONAL | |
Información de relación/Frase instructiva de referencia | Edición impresa: |
Número Internacional Estándar del Libro | 9783540200567 |
856 40 - LOCALIZACIÓN Y ACCESO ELECTRÓNICOS | |
Identificador Uniforme del Recurso | <a href="http://remoto.dgb.uanl.mx/login?url=http://dx.doi.org/10.1007/b137894">http://remoto.dgb.uanl.mx/login?url=http://dx.doi.org/10.1007/b137894</a> |
Nota pública | Conectar a Springer E-Books (Para consulta externa se requiere previa autentificación en Biblioteca Digital UANL) |
942 ## - ELEMENTOS DE PUNTO DE ACCESO ADICIONAL (KOHA) | |
Tipo de ítem Koha | Recurso en línea |
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