CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet : (Registro nro. 294248)
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| 000 -CABECERA | |
|---|---|
| campo de control de longitud fija | 02647nam a22003735i 4500 |
| 001 - NÚMERO DE CONTROL | |
| campo de control | 294248 |
| 003 - IDENTIFICADOR DEL NÚMERO DE CONTROL | |
| campo de control | MX-SnUAN |
| 005 - FECHA Y HORA DE LA ÚLTIMA TRANSACCIÓN | |
| campo de control | 20160429155139.0 |
| 007 - CAMPO FIJO DE DESCRIPCIÓN FÍSICA--INFORMACIÓN GENERAL | |
| campo de control de longitud fija | cr nn 008mamaa |
| 008 - DATOS DE LONGITUD FIJA--INFORMACIÓN GENERAL | |
| campo de control de longitud fija | 150903s2005 gw | o |||| 0|eng d |
| 020 ## - NÚMERO INTERNACIONAL ESTÁNDAR DEL LIBRO | |
| Número Internacional Estándar del Libro | 9783540274124 |
| -- | 9783540274124 |
| 024 7# - IDENTIFICADOR DE OTROS ESTÁNDARES | |
| Número estándar o código | 10.1007/b139047 |
| Fuente del número o código | doi |
| 035 ## - NÚMERO DE CONTROL DEL SISTEMA | |
| Número de control de sistema | vtls000346956 |
| 039 #9 - NIVEL DE CONTROL BIBLIOGRÁFICO Y DETALLES DE CODIFICACIÓN [OBSOLETO] | |
| Nivel de reglas en descripción bibliográfica | 201509031103 |
| Nivel de esfuerzo utilizado para asignar no-encabezamientos de materia en puntos de acceso | VLOAD |
| Nivel de esfuerzo utilizado en la asignación de encabezamientos de materia | 201405070516 |
| Nivel de esfuerzo utilizado para asignar clasificación | VLOAD |
| -- | 201402070920 |
| -- | staff |
| 040 ## - FUENTE DE LA CATALOGACIÓN | |
| Centro catalogador/agencia de origen | MX-SnUAN |
| Lengua de catalogación | spa |
| Centro/agencia transcriptor | MX-SnUAN |
| Normas de descripción | rda |
| 100 1# - ENTRADA PRINCIPAL--NOMBRE DE PERSONA | |
| Nombre de persona | Li, Flora M. |
| Término indicativo de función/relación | autor |
| 9 (RLIN) | 327631 |
| 245 10 - MENCIÓN DE TÍTULO | |
| Título | CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet : |
| Resto del título | Degradation Behavior and Damage Mechanisms / |
| Mención de responsabilidad, etc. | by Flora M. Li, Arokia Nathan. |
| 264 #1 - PRODUCCIÓN, PUBLICACIÓN, DISTRIBUCIÓN, FABRICACIÓN Y COPYRIGHT | |
| Producción, publicación, distribución, fabricación y copyright | Berlin, Heidelberg : |
| Nombre del de productor, editor, distribuidor, fabricante | Springer Berlin Heidelberg, |
| Fecha de producción, publicación, distribución, fabricación o copyright | 2005. |
| 300 ## - DESCRIPCIÓN FÍSICA | |
| Extensión | xI, 231 páginas 84 ilustraciones |
| Otras características físicas | recurso en línea. |
| 336 ## - TIPO DE CONTENIDO | |
| Término de tipo de contenido | texto |
| Código de tipo de contenido | txt |
| Fuente | rdacontent |
| 337 ## - TIPO DE MEDIO | |
| Nombre/término del tipo de medio | computadora |
| Código del tipo de medio | c |
| Fuente | rdamedia |
| 338 ## - TIPO DE SOPORTE | |
| Nombre/término del tipo de soporte | recurso en línea |
| Código del tipo de soporte | cr |
| Fuente | rdacarrier |
| 347 ## - CARACTERÍSTICAS DEL ARCHIVO DIGITAL | |
| Tipo de archivo | archivo de texto |
| Formato de codificación | |
| Fuente | rda |
| 490 0# - MENCIÓN DE SERIE | |
| Mención de serie | Microtechnology and Mems, |
| Número Internacional Normalizado para Publicaciones Seriadas | 1615-8326 |
| 500 ## - NOTA GENERAL | |
| Nota general | Springer eBooks |
| 505 0# - NOTA DE CONTENIDO CON FORMATO | |
| Nota de contenido con formato | Overview of CCD -- CCD Imaging in the Ultraviolet (UV) Regime -- Silicon -- Silicon Dioxide -- Si-SiO2 Interface -- General Effects of Radiation -- Effects of Radiation on CCDs -- UV-Induced Effects in Si -- UV Laser Induced Effects in SiO2 -- UV Laser Induced Effects at the Si-SiO2 Interface -- CCD Measurements at 157nm -- Design Optimizations for Future Research -- Concluding Remarks. |
| 520 ## - SUMARIO, ETC. | |
| Sumario, etc. | As the deep-ultraviolet (DUV) laser technology continues to mature, an increasing number of industrial and manufacturing applications are emerging. For example, the new generation of semiconductor inspection systems is being pushed to image at increasingly shorter DUV wavelengths to facilitate inspection of deep sub-micron features in integrated circuits. DUV-sensitive charge-coupled device (CCD) cameras are in demand for these applications. Although CCD cameras that are responsive at DUV wavelengths are now available, their long-term stability is still a major concern. This book describes the degradation mechanisms and long-term performance of CCDs in the DUV, along with new results of device performance at these wavelengths. |
| 590 ## - NOTA LOCAL (RLIN) | |
| Nota local | Para consulta fuera de la UANL se requiere clave de acceso remoto. |
| 700 1# - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL--NOMBRE DE PERSONA | |
| Nombre de persona | Nathan, Arokia. |
| Término indicativo de función/relación | autor |
| 9 (RLIN) | 327632 |
| 710 2# - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL--NOMBRE DE ENTIDAD CORPORATIVA | |
| Nombre de entidad corporativa o nombre de jurisdicción como elemento de entrada | SpringerLink (Servicio en línea) |
| 9 (RLIN) | 299170 |
| 776 08 - ENTRADA/ENLACE A UN FORMATO FÍSICO ADICIONAL | |
| Información de relación/Frase instructiva de referencia | Edición impresa: |
| Número Internacional Estándar del Libro | 9783540226802 |
| 856 40 - LOCALIZACIÓN Y ACCESO ELECTRÓNICOS | |
| Identificador Uniforme del Recurso | <a href="http://remoto.dgb.uanl.mx/login?url=http://dx.doi.org/10.1007/b139047">http://remoto.dgb.uanl.mx/login?url=http://dx.doi.org/10.1007/b139047</a> |
| Nota pública | Conectar a Springer E-Books (Para consulta externa se requiere previa autentificación en Biblioteca Digital UANL) |
| 942 ## - ELEMENTOS DE PUNTO DE ACCESO ADICIONAL (KOHA) | |
| Tipo de ítem Koha | Recurso en línea |
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